氣體質量流量控制器使用注意？

1 加裝過濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時，應在定貨時聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3 安裝位置問題

本控制器安裝時建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時若發現零點偏移，可以調整零點后在工作。

4 閥口密封問題

質量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶應另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應該在質量流量控制器進出氣口各加一個截止閥，以保證工作安全。長期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內, 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應進行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時與銷售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時，可以通過附錄的轉換系數進行換算。

質量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說的比例閥就是電磁調節閥，雖然可以起到一定的流量調節作用，但無法做到準確，穩定的流量控制，而氣體質量流量控制器（MFC）是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實現準確、穩定的流量控制，并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。

氣體質量流量控制器對于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產品的耐壓標準, 不能超過該產品要求的較大壓力。

3、產品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產品會使保修無效，還容易產生危險。