氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過(guò)濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計(jì)。

2 使用腐蝕性氣體

流量計(jì)通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。

3 安裝位置問(wèn)題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問(wèn)題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(zhǎng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi), 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應(yīng)進(jìn)行維修。

5 標(biāo)定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。

質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調(diào)節(jié)閥，雖然可以起到一定的流量調(diào)節(jié)作用，但無(wú)法做到準(zhǔn)確，穩(wěn)定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調(diào)節(jié)閥的基礎(chǔ)上增加了控制電路和流量檢測(cè)傳感器和比例分流，是可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量控制，并且可以將流量信號(hào)穩(wěn)定持續(xù)輸出成電壓信號(hào)或電流信號(hào)，比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。

氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn), 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效，還容易產(chǎn)生危險(xiǎn)。