實驗室氣體的危險性：

1、有部分氣體具有易i燃、易i爆、有毒、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害；

2、多種氣體在同一個環境下使用，如果有兩種會發生燃燒或爆i炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏，就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害；

4、多數氣瓶出口壓力可達15MPa，即150公斤/cm2，如果發生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激i射出去，其能量對人體或設備都具有致命性的傷害。

各種氣體配管配件要求

在半導體體行業線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露i點的要求也越來越高。

高純氮氣(PN2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氮氣(N2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患。9、不銹鋼管件在現場安裝時方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統。現在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。

氣體減壓閥是氣動調節閥的必備配件

高純氣體管道工程介紹氣體減壓閥是一種自動降低管路工作壓力的專門裝置，它可將閥前管路較高的液體壓力減少至閥后管路所需的水平。減壓閥的構造類型很多，按結構形式可分為薄膜式、彈簧薄膜式、活塞式、杠桿式和波紋管式等。

氣體減壓閥是氣動調節閥的一個必備配件，主要作用是將氣源的壓力減壓并穩定到一個定值，以便于調節閥能夠獲得穩定的氣源動力用于調節控制，因此在操作過程中的清潔事項也要多加注意。

氣體減壓閥的閥桿，閥瓣，渦輪，手輪，螺母，支架等滑動部位比較容易沾上很多灰塵，油污以及臟物等，對閥門會產生磨損和腐蝕，因此一定要保證閥門的清潔度以及閥門油漆的的完整度。

閥門上的灰塵要用毛刷之類的打掃和壓縮空氣吹掃，螺紋螺母之類的地方要用抹布擦洗;閥門上的油污和記住殘渣適于蒸汽吹掃，甚至用銅絲刷刷洗，知道加工面，配合面顯出金屬光澤，油漆面顯出油漆本身為止。（7）氣瓶在儲存、使用時必須直立放置，工作地點不固定且移動頻繁時，應固定在手推車上，防止傾倒，嚴禁臥放使用。塑料蝶閥應該要有人專門負責，每班都要檢查一次，定期打開沖洗閥進行沖洗，或定期拆卸沖洗，以免臟物堵塞閥門。

1、減壓閥應存放在干燥的室內,通路兩端必須用盲板堵塞,不準堆置存放。

2、長期存放的減壓閥應定期檢查,清洗污垢,在各運動部位及加工面上應涂以防銹劑,防止生銹。

特氣管道工程

特氣就是特種氣體，指那些在特定領域中應用的, 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。氣體經鼓風機、壓縮機、泵和鍋爐等增壓后，從管道的高壓處流向低壓處，也可利用氣體自身的壓力或重力輸送。特種氣體門類繁多, 通常可區分為電子氣體、標準氣、環保氣、氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用于電子、電力、石油化工、采i礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。區別于我們呼吸的空氣（含21%氧，78%氮，1%水、二氧化碳等），其純度一般在99.99%（4N）以上。

特氣管道施工一般分為主系統，二次配主系統，根據客戶要求有氣源送到用氣點附近的管道一般沒有什么危險，只要根據客戶要求按照規范去施工，二次配管VMB閥箱預留閥到機臺接點之間的管道施工，一般都會在無塵室進行，二次配管的危險在于主通道已經通上氣體介質，我們在無塵室施工，要在客戶工程師的陪同下進行，對于無塵室的閥門及類似閥門的開關，不要亂動，無塵室都會安裝氣體探頭和氣體泄露報警裝置，一旦有氣體泄露，我們應丟下手中任何工作，通過安全指示撤出無塵室。聯接時根據氣體的性質、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。