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渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個方面：壓縮比與前一階段壓力之間的關系泵選擇機械泵作為前級泵。當當前級壓力滿足一定要求時，分子泵穩(wěn)定工作，減壓比保持恒定。如圖464所示，當當前級壓力升至1Pa時，子壓縮比開始降低，而當當前級壓力升至數十帕斯卡時，壓縮比急劇下降，分子泵無法正常工作。

抽速與氣體類型之間的關系。所示的關系是，該變化比直線稍慢。這是因為，在旋轉速度下，P較大的氣體具有較大的速度比，因此葉片的Hoe系數較大，但是它們在進氣管中的電導率是由于增加和減少。渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。

渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能、可控熱核反應裝置、重粒子以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

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超高真空互聯裝置需要在超高真空環(huán)境中進行,對真空度要求及其高,真空可達1E-10mbar,一般需要用前級泵,分子泵,離子泵,鈦泵等組合使用來達到要求,渦輪分子泵需要低振動,低噪音,清潔無油確保超高真空的穩(wěn)定性以保證晶格的生長和后期的探測分析.德國渦輪分子泵80,,700,1200廣泛應用于超高真空互聯裝置中!

超高真空互聯系統(tǒng)會以ARPES,STM,MBE,UPS,XPS的聯用為主.下圖為某研發(fā)生產各類高真空系統(tǒng)客戶實例圖:1.ARPES角分辨光電子能譜,利用光電效應研究固體的電子結構,當一束光照射在樣品表面,當入射光頻率高于特定閾值(功函數)時,表面附近的電子會脫離樣品,成為自由電子,這就是光電效應.光電子在真空飛行的過程中,被一個接受角度很小的能量分析器收集計數.

某光源ARPES光束線真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)是同步輻射光束線的重要組成部分,只有在真空環(huán)境中運行,光學元件才能夠將同步輻射光傳輸到試驗站,真空系統(tǒng)的作用就是獲得并維持合理的真空度,保證光束線的穩(wěn)定運行.此系統(tǒng)搭配愛發(fā)科分子泵80,及配套真空規(guī)。

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分子泵入口應裝設防護網，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。抽氣系統(tǒng)裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的操作方法與擴散泵抽氣系統(tǒng)相似。在開始粗抽以前，高真空閥和粗抽閥是關著的，而前級管道閥是打開的。首先關閉前級閥，啟動粗抽泵（兼前級泵），打開粗抽閥開始對真空室進行抽氣。在真空室內的壓力降到150~100Pa時關閉粗抽閥，打開前級管道閥，再啟動渦輪分子泵（需先接通冷卻系統(tǒng)）。

如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應在泵加速到額定轉速后（一般需5~10min）加注液氮。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導規(guī)；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)粗抽系統(tǒng)的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對500L/s或更小的渦輪分子泵來說，可采用一臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。

在壓力為100到150Pa時關閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，這樣做會引起輕微而滯后的瞬時減速，但這對抽氣并無影響。正如擴散泵抽氣系統(tǒng)那樣，渦輪分子泵系統(tǒng)中的很主要的物質是水蒸氣，其臭氣時間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個系統(tǒng)抽除水蒸氣的速度就會比同樣抽速的無冷阱擴散泵略慢一些。

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分子泵轉速對氦質譜檢漏儀的靈敏度有什么影響？

今天，小編將向大家介紹分子泵轉速對氦質譜檢漏儀的靈敏度有什么影響，希望對大家有所幫助。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種泵。分子泵是獲得高和超高的關鍵設備之一。

它被廣泛應用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術、薄膜工程等工業(yè)領域和研究部門。它操作簡單、啟動時間短,在分子流區(qū)域內對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無油的高和超高環(huán)境。

分子泵是氦質譜檢漏儀中獲得高重要部位,是氦質譜檢漏儀中不可或缺關鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著氦質譜檢漏技術。逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高泵與低泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過這個壓力,將使高泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。

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