半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。

近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純已成功打開。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

氙氣,氣,氮氣是一種非常重要的氣體，它的應(yīng)用廣泛。食品的儲存和運輸需要用到大量的氮氣，來防止食物變質(zhì)另一方面，由于氮氣的良好性質(zhì)，在焊接、機械設(shè)備和油田開采中有著重要的應(yīng)用價值?？梢哉f，氮氣的用途很廣泛，幾乎處處可見。 氮氣（N2）是一種無色、無味、無臭的惰性氣體，密度為1.2506kg/m3，熔點為-209.86℃，沸點為-195.8攝氏度，稍溶于水和乙醇，化學(xué)性質(zhì)不活躍，在一個大氣壓下的冷卻和冷凍整個過程中吸收的總能量為382kJ/kg。人在氮氣中作業(yè)時，應(yīng)該防止窒息致死。

因為六氟化硫sf6高壓電器設(shè)備的內(nèi)部氣體濕度是經(jīng)由人為來進(jìn)行操控的，這也導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部的氣體含水量比較低。內(nèi)部的水蒸汽氣壓低，但大氣中水蒸汽氣壓卻相對很高。在這樣的高溫又高濕的條件之下，水分子便會自動從高壓區(qū)往低壓區(qū)進(jìn)行滲透。外界的氣溫越高且相對濕度越大，那么內(nèi)外水蒸汽的氣壓差也就會越大，從而也導(dǎo)致了大氣中的水分透過設(shè)備的密封薄弱環(huán)節(jié)進(jìn)入到設(shè)備的可能性也就越大。因為六氟化硫的分子直徑為4.56×10-10m，水分子的直徑為3.2×10-6m，六氟化硫分子為球狀，水分子是細(xì)長棒狀，那么在內(nèi)部外部水分氣壓差比較大的時候，水分子便易于進(jìn)到六氟化硫的設(shè)備的內(nèi)部。

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氣鋼瓶在搬運過程中未戴瓶帽，手托瓶閥抬運或碰撞等原因，使瓶頸上或閥體上螺紋損壞，瓶閥可能被瓶內(nèi)壓力沖出脫離瓶頸。

由于氣鋼瓶在搬運或儲存過程中墜落或撞擊堅硬物體，也能在冷狀態(tài)下發(fā)生。

鋼瓶結(jié)構(gòu)、制造工藝和材質(zhì)不符合安全要求，致使氣鋼瓶強度不夠而引發(fā)。

未按規(guī)定周期進(jìn)行技術(shù)檢驗，由于瓶壁銹蝕變薄、裂紋而導(dǎo)致。