5分鐘前 廉江圓弧面曝光顯影報(bào)價(jià)了解更多「利成感光」[利成感光38dbdb8]內(nèi)容:顯影液去除并且清洗(rinse):達(dá)到顯影時(shí)間后,使用DIW立即沖洗晶圓表面。去離子水不僅可以使顯影過(guò)程終止,而且會(huì)把顯影后缺陷顆粒沖洗掉。在沖洗過(guò)程中,晶圓旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力也對(duì)去除表面顆粒有很大的幫助。準(zhǔn)備基礎(chǔ)物質(zhì):先選擇基礎(chǔ)物質(zhì)如硅片,并在其表面上涂上一層光刻膠。布圖設(shè)計(jì):根據(jù)芯片設(shè)計(jì),制定合適的曝光和顯影條件,并在計(jì)算機(jī)上生成掩模圖形來(lái)輔助芯片制造。

顯影液表面停留(puddle):為了讓顯影液與光刻膠進(jìn)行充分反應(yīng),顯影液噴淋后需要在硅片表面停留一般為幾十秒到一兩分鐘。從而形成可見(jiàn)的圖片。而在數(shù)字?jǐn)z影中,曝光則是相機(jī)中的數(shù)字傳感器接收到光線(xiàn)所對(duì)應(yīng)的信息,并記錄下來(lái),再通過(guò)數(shù)字信號(hào)處理,將其轉(zhuǎn)化為圖片的過(guò)程。甩干(spin dry):為了將表面的去離子水甩干,將硅片轉(zhuǎn)到高轉(zhuǎn)速

曝光一般在曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行,目前的曝光機(jī)依據(jù)光源冷卻方式可分為風(fēng)冷和水冷,曝光質(zhì)量取決于除干膜致抗蝕劑、光源選擇、曝光時(shí)間、同時(shí)曝光影響圖案的線(xiàn)寬,過(guò)量曝光會(huì)使圖形線(xiàn)條變細(xì),蝕刻產(chǎn)品線(xiàn)條變粗。所以好的辦法是依據(jù)顯影的干膜光亮程度,圖像清晰度,圖案線(xiàn)條與底片相符,曝光設(shè)備參數(shù)和感光性能,確定適合的曝光時(shí)間。
3D曲面玻璃的曝光顯影技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于:在玻璃表面有極高的解像力,利用曝光顯影工藝正好可以解決遮蔽油墨不能通過(guò)傳統(tǒng)印刷解決的問(wèn)題,具有精度高,量產(chǎn)性好,良率高等特點(diǎn),采用曝光顯影技術(shù),遮蔽油墨可控良率可達(dá)90%以上。
