廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進口分子泵維修保養

改進的轉子結構

TwisTorr 305 Q 系列分子泵擁有的轉子結構：比其他 305 分子泵增加了一級渦輪葉片，并采用了與其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牽引級。MacroTorr 牽引級是專為大氣載而設計的，它擁有更寬大的氣體通道，解決了其他牽引級結構在高負載長期運行時發熱集中的問題，可以承受持續的大氣體流量，并可將前級耐壓提高至 16 mbar。

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國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1%，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發干泵，使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。

干式真空泵主要應用于半導體、化工、電影、儀器、、食品等范圍廣泛的行業，市場上超過50%的產品是進口品牌，尤其在半導體行業中，絕大多數的真空泵均為國外品牌，國產真空泵主要應用于化工等行業。

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近日，安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305，它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無油潤滑等優點，同時，還擁有諸多全新的特點，此外，TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設計和制造方法所推出的一款真空產品。

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安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊，可以任意角度安裝，而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術可以補償輕微的系統振動；對于一個緊湊便攜的系統而言，這些特點至關重要。

安捷倫擴散泵特點一抽氣快（壓力降的快）與擴散泵相比，前級泵（如羅茨泵）的抽速一般都會比較小，而且，在接近可以開啟擴散泵的壓力時其抽速又會很明顯的下降，所以這個壓力段是好多真空設備真空泵抽速的瓶頸。安捷倫擴散泵的噴塔設計使其可以開始抽氣的壓力和到達滿抽速的壓力都比較高，這樣，在前級泵抽速開始下降的階段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空設備的壓力可以很多的下降。

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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。

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擴散泵工作時，從噴塔高速噴射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并從油池邊緣向中心流動，在流動的過程中，油的溫度逐漸升高，油中沸點比較低的小分子組分，在靠近油池邊緣的地方就會汽化，而沸點比較高的大分子組分，則會在靠近油池中心的地方汽化。一般的擴散泵噴塔各級噴嘴之間是互相聯通的，而安捷倫擴散泵的噴塔各級噴嘴彼此獨立，特別是噴塔，只有沸點高的大分子油蒸汽才會從這里噴出，這一特點不僅擴散泵極限真空很好，而且由于高沸點的泵油更不容易二次揮發，使得泵的返油率很低。

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從上世紀60年代上市以來，安捷倫（即原瓦里安，下同）擴散泵一直口碑很好。很多用戶采購新的真空爐或鍍膜機等設備時，會用安捷倫的型號，也有很多用戶——特別是同時有安捷倫和其它擴散泵的客戶——聯系安捷倫，要求用安捷倫的擴散泵替換其舊設備上的其它品牌的擴散泵。

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傳統的真空泵會產生廢油，易出故障，這對妥善管理設備提出了挑戰。安捷倫 IDP 真空泵系列擁有更清潔、安靜的無油泵產品，能夠實現真正的無油操作，助您改善實驗方法，使實驗室環境更加舒適整潔，是 GC/MS 系統更綠色、可持續的選擇。繼 5977B 使用無油干式真空泵 IDP-3 的選配方案后，安捷倫又發布了用于 7000 系列的選配方案 IDP-10，并且我們還設計了用于舊設備的升級套裝。