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其實利用在檢測芯片的過程當中,其實這種方法是非常有效的,關于emmi分析國內目前的技術通常已經達到了要求,在對芯片進行檢測過程當中,利用微光顯微鏡它的效果通常是非常明顯的。比如說如果說亮點被遮掩的過程當中采用的是利用境外紅波的發光,通過拋光的處理來進行探測,這樣才能夠有效的去發現金屬歸沉寂的有效缺陷。
(超聲波掃描顯微鏡)無損檢測
超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查材料內部的晶格結構,雜質顆粒、夾雜物、沉淀物、內部裂紋、分層缺陷、空洞、氣泡、空隙等。< br />< br />著作權歸作者所有。
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EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會放出光子(Photon)。如在P-N結加偏壓,此時N阱的電子很容易擴散到P阱,而P的空穴也容易擴散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發光點等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發;Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題.