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這種情況比較復(fù)雜，因?yàn)橹車鷼怏w介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會(huì)使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進(jìn)行的各種工藝過程的質(zhì)量有決定性的影響。

真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無特殊之處。對于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。

密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）的裂紋是由于傳動(dòng)件的振動(dòng)，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見的。

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機(jī)械密封件中的葉輪鎖母也不可以上得太緊，在常見的泄漏中，軸和軸套之間的滲漏會(huì)比較多，這不單只是葉輪鎖母沒鎖緊的原因，其它很多的因素都會(huì)引起滲漏，軸間的墊圈變形、偏移、失效、軸間端面混入了雜質(zhì)、軸套和軸間有比較大的形位的誤差，接觸面損壞、軸上的各個(gè)元件相互之間有間隙、軸頭的螺紋過長等等，都會(huì)導(dǎo)致了軸間的滲漏，很多情況與液壓密封件泄漏原因相似。這樣，橡膠的物理、力學(xué)性能，以及抗老化、耐溫、耐介質(zhì)作用的能力就會(huì)下降。

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安裝機(jī)械密封過程中，應(yīng)保持清潔，且不允許用工具敲打密封元件，以防損傷和破壞。

由于鍍層材料與基體材料二者線脹速率不同，所以溫度升高時(shí)，環(huán)表面會(huì)出現(xiàn)裂紋，司太立特合金尤為嚴(yán)重。在較級的涂層材料中，鈷基碳化鎢不如鎳基涂層。密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。而對密封面進(jìn)行冷卻，能有效地防止熱裂，殘留在密封面上的固體微粒經(jīng)常損壞表面，如磨削時(shí)砂輪上的砂粒就會(huì)損傷硬環(huán)表面，導(dǎo)致密封面打開或在密封面之間生成結(jié)晶物，而在重新研磨石墨環(huán)后，研磨料就會(huì)嵌入石墨環(huán)表面。

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導(dǎo)致管道離心泵機(jī)械密封損壞的原因主要有以下幾個(gè)方面：

A、臥式離心泵在輸送物料遇冷凝固就會(huì)卡住彈簧，從而導(dǎo)致管道泵的機(jī)械密封的損壞;

B、機(jī)封工作面有固態(tài)顆粒存在;

C、靜環(huán)和動(dòng)環(huán)之間存在固態(tài)酚，導(dǎo)致油膜無法形成，磨損加劇；

D、單端面還是雙端面么沖洗方法不正確；

E、抽空、氣蝕或較長時(shí)間憋壓，導(dǎo)致密封破壞；

F、對離心泵實(shí)際輸出量偏小，大量介質(zhì)泵內(nèi)循環(huán)，熱量積聚，引起介質(zhì)氣化，導(dǎo)致密封失效；