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這種情況比較復雜，因為周圍氣體介質即使稍微漏入真空腔內，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進行的各種工藝過程的質量有決定性的影響。

真空器件所使用的機械密封在結構上并無特殊之處。對于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機械密封。第二種情況則要用雙端面機械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。

密封面內圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進入密封面或安裝不當造成的。密封面上的環形溝槽，多數是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環（動環）的裂紋是由于傳動件的振動，橡膠圈的漲大以及石墨環本身的內應力造成的，而結焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫熱油介質中是常見的。

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機械密封件中的葉輪鎖母也不可以上得太緊，在常見的泄漏中，軸和軸套之間的滲漏會比較多，這不單只是葉輪鎖母沒鎖緊的原因，其它很多的因素都會引起滲漏，軸間的墊圈變形、偏移、失效、軸間端面混入了雜質、軸套和軸間有比較大的形位的誤差，接觸面損壞、軸上的各個元件相互之間有間隙、軸頭的螺紋過長等等，都會導致了軸間的滲漏，很多情況與液壓密封件泄漏原因相似。這樣，橡膠的物理、力學性能，以及抗老化、耐溫、耐介質作用的能力就會下降。

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安裝機械密封過程中，應保持清潔，且不允許用工具敲打密封元件，以防損傷和破壞。

由于鍍層材料與基體材料二者線脹速率不同，所以溫度升高時，環表面會出現裂紋，司太立特合金尤為嚴重。在較級的涂層材料中，鈷基碳化鎢不如鎳基涂層。密封面內圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進入密封面或安裝不當造成的。而對密封面進行冷卻，能有效地防止熱裂，殘留在密封面上的固體微粒經常損壞表面，如磨削時砂輪上的砂粒就會損傷硬環表面，導致密封面打開或在密封面之間生成結晶物，而在重新研磨石墨環后，研磨料就會嵌入石墨環表面。

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導致管道離心泵機械密封損壞的原因主要有以下幾個方面：

A、臥式離心泵在輸送物料遇冷凝固就會卡住彈簧，從而導致管道泵的機械密封的損壞;

B、機封工作面有固態顆粒存在;

C、靜環和動環之間存在固態酚，導致油膜無法形成，磨損加?。?/p>

D、單端面還是雙端面么沖洗方法不正確；

E、抽空、氣蝕或較長時間憋壓，導致密封破壞；

F、對離心泵實際輸出量偏小，大量介質泵內循環，熱量積聚，引起介質氣化，導致密封失效；