氦質譜檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數量級。首先將設備穩固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。氦質譜檢漏主要領域：原子能工業——氣體擴散處理系統；高能物理研究院——及其配件；

漏孔距離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦氣應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠進行。對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。

實驗程序中明確規定了密封繼電器的檢漏條件及步驟，本次主要討論背壓法檢漏屬于檢漏步驟中的細檢漏。繼電器的背壓檢漏法一般分為三步: 1加氦壓:將被檢繼電器放入充氦的壓力罐中; 2凈化:從壓力罐中取出繼電器，用氮氣流或者空氣流吹凈繼電器表面吸附的氦氣。3檢漏:將繼電器放入檢漏儀的檢漏盒中進行檢測，若繼電器有漏，壓入內腔的氦氣會經過漏孔進入檢漏儀，儀器上會有漏率顯示。

氦質譜檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數量級。首先將設備穩固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。可先用氮氣或其它惰性氣體將設備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設備的內壓增加至測試壓力且 應使設備內部至少含有10%-20%的氦氣含量。