具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。一般潔凈室高度控制在2.60米，對個別較高的設備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用空氣過濾器三級過濾。車間凈化工程可以細分為很多方面，每一方面的標準達到了，車間凈化工程才算是成功的。

潔凈技術專門研究并提供潔凈的生產工藝環(huán)境和生產過程中使用的各種高純介質，有效地控制微量雜質，以保證高科技產品的成品率。無塵車間凈化原理：氣流→初效空氣處理→空氣調節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風夾道→新風、初效空氣處理。凈化工程的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經濟性。

凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等，施工人員須對潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質量有認識，否則，施工質量很難得到保障。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。